半導體先進制程里，硅烷、氨氣、氬氣、氮氣是刻蝕、沉積、離子注入環節不可huo缺的工藝氣體，管路內 ppb 級微量水分，會直接與硅基底發生反應生成原生氧化層，造成光刻圖形偏移、薄膜針孔、電路導通異常，大幅拉低晶圓良率。想要從源頭遏制晶圓氧化缺陷，穩定、耐腐蝕、超寬低霜點量程的監測設備必不ke少，美國 Edgetech 高精度冷鏡露點儀 DewMaster，正是各大晶圓廠特氣管線水分管控的核心監測設備。
普通氧化鋁、電容式露點傳感器極易被硅烷、氨氣腐蝕中毒，長期運行數據漂移嚴重，無法適配腐蝕性特種氣體工況，而美國 Edgetech 高精度冷鏡露點儀 DewMaster 搭載專屬 X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器，整體流路采用 316 不銹鋼材質，耐硅烷水解產物、氨氣弱腐蝕介質侵蝕，長時間接觸腐蝕性特氣也不會出現傳感失效，wan美適配各類電子特氣不間斷在線監測需求。
美國 Edgetech 高精度冷鏡露點儀 DewMaster 依托冷鏡主測量原理，無長期零點漂移，標配 ±0.2℃露霜點測量精度，可選 ±0.1℃高精度版本，搭配 X3LC、X3CC 液冷傳感器，zui低可測 - 90℃霜點，精準捕捉硅烷、氨氣、氬氣、氮氣中微量水汽變化，實時輸出 ppmv、露點、壓力多組數據，讓工藝人員第一時間發現干燥機失效、管路滲漏等水分超標隱患，從源頭規避晶圓氧化缺陷。
在高純氮氣、氬氣保護氣總管、硅烷鋼瓶輸出管路、氨氣純化裝置后端，均可部署美國 Edgetech 高精度冷鏡露點儀 DewMaster。設備支持遠程傳感布設，傳感器與主機最遠可相隔 76 米，潔凈車間、特氣柜狹小空間都能靈活安裝；自帶自動平衡光學校正功能，即便鏡面附著微量工藝雜質，也能自動修正測量偏差，保障長期監測數據穩定可靠。
美國 Edgetech 高精度冷鏡露點儀 DewMaster 配套多路信號輸出、可編程報警繼電器，水分超標時可聯動純化系統自動再生，構建特氣水分閉環管控。整機美國原廠制造，具備 NIST 溯源資質，測量數據符合半導體行業檢測規范，X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器兼顧高壓、腐蝕、超低露點多重嚴苛工況。
依靠美國 Edgetech 高精度冷鏡露點儀 DewMaster 持續監測各類工藝氣體微量水分，搭配 X3 不銹鋼耐腐蝕傳感器抵御特氣腐蝕，企業得以牢牢守住氣體濕度紅線，che底杜絕水汽引發的晶圓氧化缺陷，穩定芯片生產良率，是半導體特氣水分監測無可ti代的專業設備
歡迎來到
聯系人：劉女士
地址：上海市虹口區廣紀路173號
郵箱：shawchinasadp@163.com
傳真：